中国电科实现离子注入机全谱系产品国产化

17日,记者从中国电科获悉,该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

中国电科实现离子注入机全谱系产品国产化

来源: 科技日报
2021-03-17 18:36 
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科技日报北京3月17日电(孙友芳 王雪姣 记者付毅飞)17日,记者从中国电科获悉,该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

离子注入机是芯片制造中的关键装备。据了解,在芯片制造过程中,需要掺入不同种类的元素,按预定方式改变材料的电性能。这些元素以带电离子的形式,被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中。离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。

作为国内唯一一家集研发、制造、服务于一体的离子注入机供应商,电科装备连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技术,自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至28nm,累计形成核心发明专利413项,实现我国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展,有效缓解我国芯片制造领域断链、短链难题。

电科装备有关负责人表示,下一步该企业将瞄准高端,紧跟先进工艺发展,加快推进适用于更先进工艺节点离子注入机的研发及产业化。

中国电科供图

(孙友芳 王雪姣 付毅飞)

【责任编辑:曹原青】
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